一、原理不同:金相光學顯微鏡是利用幾何光學成像原理進行成像的，而掃描電鏡是利用細聚焦電子束在樣品表面掃描時激發出來的各種物理信號來調制成像的。用高能量電子束轟擊樣品表面，樣品表面被激發出各種物理信號，利用不同的信號探測器接受物理信號，再轉換成圖像信息。

　　二、光源不同:金相光學顯微鏡是采用可見光作為光源來成像，而掃描電鏡是采用電子束作為光源成像。

　　三、分辨率不同:金相光學顯微鏡受到可見光的干涉與衍射作用，分辨率只能局限于0.2-0.5um之間。掃描電鏡由于采用電子束作為光源，其分辨率可達到1-3nm之間，因此金相光學顯微鏡的組織觀察屬于微米級分析，掃描電鏡的組織觀測屬于納米級分析，掃描電鏡獲得的樣品信息更豐富。

　　四、景深不同:一般金相光學顯微鏡的景深在2-3um之間，因此對樣品的表面光滑程度具有*的要求，所以制樣過程相對比較復雜。掃描電鏡的景深則是金相光學顯微鏡的幾百倍，但由于其成像原理所限，要求樣品表面必須導電，因此要對樣品表面做導電處理。

　　通過以上對比，可以清楚的了解到，金相光學顯微鏡是用入射照明來觀察金屬樣品表面(金相組織)的光學顯微鏡。目前使用的金相光學顯微鏡都是將光學顯微鏡技術、光電轉換技術、計算機圖像處理技術結合在一起，能很方便的在計算機上觀察金相圖像，并利用軟件對金相圖譜進行測量、分析、評級等。還可以對圖片進行輸出、打印和存儲。金相光學顯微鏡相對掃描電鏡來說，分辨率小，放大倍數小。但金相光學顯微鏡更易操作、視場較大、價格相對更低廉。

　　掃描電鏡是電子光學儀器。相比金相光學顯微鏡放大倍數可調范圍寬、圖像的分辨率高、景深大，圖象富立體感，獲得樣品信息更豐富，在應用上比金相光學顯微鏡更為深入和廣泛。